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IMEC的8吋晶圓無塵室產(chǎn)能已經(jīng)滿載邁向18吋晶圓時代
發(fā)布時間： 2009-2-6 9:28:04
歐洲研究機(jī)構(gòu)IMEC計(jì)劃擴(kuò)充其12吋旗艦晶圓廠以提升產(chǎn)能，并計(jì)劃在2010年出開始提供試產(chǎn)用的超紫外光微影 (extremeultravioletlithography)工具。該研究機(jī)構(gòu)的總裁暨執(zhí)行長GilbertDeclerck亦透露，IMEC位于比利時Leuven的辦公據(jù)點(diǎn)與制造產(chǎn)能擴(kuò)充，是為了迎接18吋晶圓時代所做的準(zhǔn)備。
Declerck補(bǔ)充表示，IMEC的8吋晶圓無塵室產(chǎn)能已經(jīng)滿載，12吋晶圓無塵室則接近滿載。該機(jī)構(gòu)持續(xù)擴(kuò)充其尖端技術(shù)能力，除了是要追隨摩爾定律(Moore’sLaw)朝更細(xì)微制程節(jié)點(diǎn)邁進(jìn)，所正在進(jìn)行的系統(tǒng)級封裝(system-in-packaging)、3D芯片、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、生物科技與光電科技研究，也都需要更大的活動空間。
他表示，如此的策略是由IMEC的董事會與該機(jī)構(gòu)位于各地區(qū)的據(jù)點(diǎn)所共同決定的，IMEC近期會公布詳細(xì)的擴(kuò)充與投資計(jì)劃。目前IMEC在荷蘭Eindhoven的HolstCenter以及臺灣新竹，各有一個附屬研發(fā)據(jù)點(diǎn)。
資訊來源： 中國凈化工程網(wǎng) |
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