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什么是FFU
FFU的全稱叫FAN FILTER UNIT，"風機過濾單元"，也就是風機和過濾器聯結在一起， 能自己提供動力的潔凈設備。
風機過濾單元/層流送風單元/FFU/空氣過濾單元/空氣過濾機/百級層流罩統稱層流罩。
早在二十世紀六十年代，第一個層流室的建立就已經開始出現FFU的應用了。但直到1984年，在亞洲才出現大規模應用FFU的事例（大約有5000臺）。是什么原因導致FFU在這么長的時間沒有得到廣泛的發展呢？
有三個問題占主導地位。
第一：噪聲問題。各位可以想一想，在當時的生產工藝水平下，5000臺風機在一起的噪聲會是多大呢？
第二：壓力平衡。在很大的靜壓箱里，每一個不同角落的風機是否能得到均衡的壓力，這在當時也是不能夠得到保證的。
第三：維護問題。FFU本身造價就比較高，如果它的電機壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。這些都是造成當時的企業不選擇使用FFU的主要原因。
但是這一切，在1984年都發生了改變。首先是噪聲問題得到了控制，大規模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下，這符合工業廠房的標準。其次隨著自動控制的發展，監測和調節各個角落的靜壓也變得容易起來。最后電機的壽命隨著技術的提高也得到了質的飛躍。
現在，隨著半導體電子技術的發展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級。 第一、靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
第二、可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三、負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔靜廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且安全。
第四、縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五、減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。
用大循環減少40%的運行成本。
資訊來源：凈化工程網
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