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無塵室防護標準

第一章         概述
1.1范圍
    此標準適用于所有本篇所定義之無塵室及潔凈區之半導體廠。
1.2目的
    本標準旨在提供無塵室避免火災及相關危害合理的安全防護,而這些防護措施可避免或減少  人員及財產之損害。
1.3應用
    此標準所考慮是以合理的預防火災及爆炸,避免造成人員傷亡及財產之損害,此時所需考慮之 環境狀況及活動狀態為本標準所討論之重點;除非其它地方有所規范,否則本標準不用于要求已經安裝完成設備除非在該狀態下已造成生命危害或鄰進近地區之財產損失。
1.4名詞定義
§高架地板系統(Access Floor System)
        配電盤架設于基座上以提供地面下空間供安裝機械通訊或作為供風或回風空間。
§管轄權(Authority Having Jurisdiction)
       組織部門或個人負責對設備安裝或制程之認可,在NFPA, 管轄權會隨區域有所變化,可能是聯邦,州,地區或地區部門,或個人可能是消防首長,副首長,州消防局長機動小組或衛生局營建部門及其它經法律授權的單位。保險公司亦有檢查權,原設計或擁有者亦有此權利。

§潔凈區(Clean Zone)
      定義為區間內之空氣中之灰塵粒子濃度控制在一定的范圍內。

§無塵室(Clean Room)
      定義為房間內之空氣中之灰塵粒子濃度控制在一定的范圍內。

§壓縮氣體(Compressed Gas)
      于容器中之任何氣體或混合氣體其在70OF(21.1℃)時,絕對壓力大于40psi(275.8Kpa);或在
70 OF時絕對壓力小于40psi,但在130OF(54.4℃)時其壓力大于104psi;或易燃性氣體在100 OF
(37.8℃)時,其蒸氣壓大于40psi稱為壓縮氣體。