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無塵室有多清潔？《凈化技術》
無塵室有多清潔？ （供大家參考）制造芯片需要使用多種有毒溶劑和重金屬。馬里蘭大學醫學院毒理學教授BruceFowler說，盡管工藝一直在改進，但有些要求還是必須滿足的。
Fowler教授一直在致力研究芯片生產中使用重金屬的毒性影響。他說："（不管工藝怎么改變），你需要的仍然是干凈的芯片。"這就意味著要使用各種重金屬和溶劑。在最后改變硅的電子性能的工序中，需要用到重金屬。職業健康問題的核心是無塵室。盡管半導體生產要求無塵環境，批評家們卻認為從某些角度來說，無塵室并不潔凈。"工程技術人員設計無塵室的唯一目的是為了降低無塵室內空氣中的顆粒灰塵含量，"加利福尼亞大學舊金山分校職業醫學臨床教授、國際職業醫學中心主任JoeLaDou說，"實際上，無塵室內所有的空氣都是循環空氣。
無塵室內任何時候都有十幾種甚至更多的有機溶劑。各種煙霧和蒸汽源源不斷地進入無塵室，而且又未被濾除。"LaDou認為這樣的后果是"無塵室成了以人類為對象的化學暴露實驗室。 半導體工業協會（Semiconductor IndustryAssociation, SIA）公關主任MollyTuttle則認為情況并不是這么糟。"半導體制造工業的設計保證對所有可能會構成重大危害的化學物質或氣體進行隔離，使工人不與其接觸或不受到不安全的暴露厖即使有少量安全劑量的化學物質進入無塵室，也會被迅速稀釋并排出。其結果是無塵室內空氣環境的新鮮空氣交換水平高于大多數室內生產環境。"盡管有些觀察家對懷疑大型半導體公司是否對職業健康進行檢查，但外界審查和同行評議的報告非常鮮見。
1992年進行的幾項研究中，其中有一項研究是由SIA贊助、加利福尼亞大學戴維斯分校研究人員負責，他們發現女工占絕大多數的無塵室工作人員流產率增加。原因是半導體公司在芯片生產中使用了一種名為乙二醇醚(glycolethers)的溶劑。此后，美國半導體工業很快就淘汰了這一類化學物質。(見Where the Chips Fall:Environmental Health in the Semiconductor Industry)EHP107:A452-A457[1999]）。
無塵室內的臟活。大多數健康風險來源于無塵室。無塵室內的工人每天都要接觸有毒化學物質。image credit: Digital Vision自此以后，針對這一行業的流行病學研究極少或根本沒有開展。位于Lowell市的麻薩諸塞大學工作環境系主任、SIA工作場所癌癥科學顧問委員會主席DavidWegman說，"我們進行文獻檢索時，根本就找不到任何與半導體行業癌癥風險直接相關的研究。"該委員會2001年10月份的《半導體芯片生產工人的癌癥風險》（Cancer Risk Among Wafer FabricationWorkers in the SemiconductorIndustry)報告摘要指出，這個科學顧問委員會是于1999年為了"根據對現有信息的分析，對半導體的芯片生產工人可能面臨的癌癥風險進行評估"而成立的。報告得出結論，尚沒有"確鑿證據"可以證明從事晶片生產會增加癌癥風險。但該報告指出，"目前尚沒有足夠的證據可得出工作場所暴露厖沒有或者不會造成一種或多種癌癥風險顯著增加的結論。
"Wegman說，SIA科學顧問委員會建議半導體工業協會立即開展半導體工人的癌癥研究，包括可行性研究和流行病學研究。然而，Tuttle表示半導體工業協會傾向于先進行可行性研究，然后再制定進一步的計劃。他說，"我們正在開展可行性研究，然后再根據研究數據決定是否有必要開展全面的流行病學調查。我們所關心的主要問題是要盡量保證為我們的員工提供最佳的健康和安全水平。"Tuttle還說，"雖然我們并不是受成本支配，但成本顯然是一個很重要的因素。"這一決定令科學顧問委員會感到失望。他們認為，將研究的兩個階段拆開會推遲上述調查研究的開展，并妨礙研究人員參與調查實施的競爭。另一份關于半導體工業癌癥的調查報告來源于負責工作場所健康和安全的英國健康安全局（HSE）。和半導體工業協會的研究報告一樣，該報告也呼吁開展進一步的研究，但沒有證明存在健康損害。
2001年12月份，英國健康安全局公布了《Greenock國家半導體（英國）公司在職和以往職工癌癥狀況報告》(Cancer Among Current and Former Workers at National Semiconductor(UK) Ltd,Greenock)。該報告指出，蘇格蘭Greenock國家半導體（英國）公司以往職工有四類癌癥的患病率過高。該報告明確的四類癌癥中，只有其中一種具有統計學顯著性--婦女的肺癌患病率。但是，研究人員并未調查這些婦女是否吸煙，而90%的肺癌是與吸煙有關的。
盡管英國健康安全局無法確認這一增長是否因工作場所暴露造成的，但該報告仍然稱調查結果"進一步證實了人們的擔憂。此次調查研究的發現，特別是與肺癌相關的發現，應予以認真對待。"國家半導體公司認為調查報告結果對他們來說是好消息。"英國健康安全局的調查未發現Greenock員工癌癥風險增加的科學證據，這一事實使我們甚感欣慰。"公司新聞發言人LuAnnJenkins說。 但是，Greenock半導體工業二期受害工人支持小組協調員JimMcCourt對HSE的調查結果并不滿意。除了未對生活方式進行調查之外，他指出，調查人員還漏掉了清潔工。他們所從事的工作最臟，但由于受雇于承包的清潔公司，他們并不是國家半導體公司的員工，所以，不在本次調查研究的范圍內。（Jenkins對此進行了反駁，稱清潔工大部分是公司的員工，而不是合同工，事實上，健康安全局的調查已經將他們包含進去。）盡管如此，McCourt仍然承認健康安全局的調查"已經朝前邁進了一步，而且結果（發現癌癥患病率升高）也很值得引起警惕。"科學研究的匱乏和研究結果的模棱兩可也許是出于政治、經濟和科學等多方面的原因。半導體工業越來越多地將半導體生產外包給合同生產廠家。
這些生產廠家大部分并不為公眾所知，在職業健康問題上受公眾壓力影響相對較小。由于缺乏聯盟組織，我們失去了一個關于職業健康問題的潛在數據來源。批評家們認為，作為發展中國家的一個重要產業，半導體生產廠家具有較強的政治影響力，阻礙了科學研究的開展。Fowler說："盡管[員工個體]的職業健康已得到改善，但是，美國的情況應區別對待，因為美國已經形成了一套關于職業暴露的標準。但是，發展中國家并沒有職業安全和健康管理局之類的機構，[半導體工業]所做的就是將生產加工轉移到發展中國家。"研究工作本身也很復雜。英國和半導體工業協會的研究注重的是癌癥，而半導體工業使用的某些化學物質可能會毒害神經系統或生殖系統。
盡管按傳統制造業安全措施標準衡量，半導體工業已經做得相當不錯，但職業病卻是另一碼事。LaDou引用了一組數字，將職業病數量與所報告的全部疾病與傷害數量進行了對比：根據美國勞動統計局提供的數據，2000年，職業病占制造業所報告全部疾病與傷害的12.7%。在半導體及相關設備工業，這一比例是22.5%。所受到的暴露情況也異常復雜："研究完半導體工業，你基本上可以寫一本關于職業病學和毒理學的教科書了，"LaDou說，"各種傳統暴露幾乎都齊了，從人機工程學和照明到電離和非電離輻射，無所不包；從溶劑散發的煙霧至攙雜劑的揮發物，無所不含厖其中，有許多是已知致癌物和生殖系統毒物。"科學顧問委員會最近進行的研究發現，半導體工業使用的幾百種化學物質中，有26中--包括砷和六價鉻--屬于確定致癌物、很可能致癌物或可能致癌物。
從職業健康的角度來說，真正的問題是，這些化學物質是否正在危害員工的健康。科學顧問委員會研究人員作出結論，采用標準的對毒物逐一進行危險度評價的方法并不能"充分回答晶片生產中的癌癥危險度問題。"然而，要對多物質暴露進行危險度評價又極其困難。而且，Wegman說，由于潛在化學暴露種類很多，再加上以前發現的與工作相關的流產風險，科學顧問委員會認為，癌癥不應該是研究的唯一對象。
因此，他們建議繼續開展現行的衛生監測活動并給予支持，將其作為職業病的早期預警系統。有些批評家提出，調查研究的缺乏也許反映了半導體行業不愿探究職業健康問題的態度，因為其生產技術的設計并沒有將這一問題納入他們的考慮之內。"他們設計了一流的生產車間，卻忽視了車間內工人的健康和安全，"LaDou指出，"要跳出這個框框，唯一的辦法就是將生產制造轉移到發展中國家，并將生產外包給管制環境較為寬松、幾乎和地下工廠一樣的制造廠。這也就是為什么發表的調查報告數量如此之少的原因。"可是，Tuttle卻認為"半導體工業協會已經作出了很大努力，在未來工藝、設備和無塵室的設計中將形成并包含了環境、安全和健康解決方案。
我們只能期待，有朝一日，一項計劃周密并能被廣泛接受的關于芯片制造業環境和職業健康領域的調查研究能夠得以順利實施。這一天正在緩慢到來。但在此之前，半導體工業和批評家們之間尖銳而激烈的爭論還將繼續。
資訊來源：凈化工程網 |
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