什么是FFU
FFU的全稱叫FAN FILTER UNIT,"風(fēng)機(jī)過濾單元",也就是風(fēng)機(jī)和過濾器聯(lián)結(jié)在一起, 能自己提供動(dòng)力的潔凈設(shè)備。
風(fēng)機(jī)過濾單元/層流送風(fēng)單元/FFU/空氣過濾單元/空氣過濾機(jī)/百級(jí)層流罩統(tǒng)稱層流罩。
早在二十世紀(jì)六十年代,第一個(gè)層流室的建立就已經(jīng)開始出現(xiàn)FFU的應(yīng)用了。但直到1984年,在亞洲才出現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用FFU的事例(大約有5000臺(tái))。是什么原因?qū)е翭FU在這么長(zhǎng)的時(shí)間沒有得到廣泛的發(fā)展呢?
有三個(gè)問題占主導(dǎo)地位。
第一:噪聲問題。各位可以想一想,在當(dāng)時(shí)的生產(chǎn)工藝水平下,5000臺(tái)風(fēng)機(jī)在一起的噪聲會(huì)是多大呢?
第二:壓力平衡。在很大的靜壓箱里,每一個(gè)不同角落的風(fēng)機(jī)是否能得到均衡的壓力,這在當(dāng)時(shí)也是不能夠得到保證的。
第三:維護(hù)問題。FFU本身造價(jià)就比較高,如果它的電機(jī)壽命不能保證的話,更換又會(huì)帶來附加投資。這些都是造成當(dāng)時(shí)的企業(yè)不選擇使用FFU的主要原因。
但是這一切,在1984年都發(fā)生了改變。首先是噪聲問題得到了控制,大規(guī)模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下,這符合工業(yè)廠房的標(biāo)準(zhǔn)。其次隨著自動(dòng)控制的發(fā)展,監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)各個(gè)角落的靜壓也變得容易起來。最后電機(jī)的壽命隨著技術(shù)的提高也得到了質(zhì)的飛躍。
現(xiàn)在,隨著半導(dǎo)體電子技術(shù)的發(fā)展,越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級(jí)。 第一、靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的,它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里,可根據(jù)需要,分區(qū)控制。而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整,F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會(huì)帶來二次投資。
第二、可再利用性。從理論上講,一時(shí)不用的FFU設(shè)備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三、負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔靜廠房負(fù)壓。這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里,使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四、縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝,因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五、減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí),初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但它在后期運(yùn)行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。
用大循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。
資訊來源:凈化工程網(wǎng)
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