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電子廠房凈化空調工程改造設計
發布時間： 2008-6-17 9:16:55
摘要：本文在天津某電子廠房原有的凈化空調工程基礎上，對工藝布置和凈化空調系統提出改造方案，并對方案設計進行了簡單的介紹.
作者：天津城市建設學院環境工程公司 范衛軍 蘇久榮
天津城市建設學院熱能工程系 郭春梅 李巖
作者簡介：范衛軍，男，1971年5月生，大學，工程師
通訊處:天津市西青區津靜公路天津城市建設學院環境工程公司
1原有凈化空調工程情況
1.1簡況
該廠房位于天津市開發區，建于1995年，主要生產半導體芯片。廠房共建三層，需改造項目位于二層，系統的平面布置如圖1所示。系統總面積1510m2，其中空調面積385m2,凈化面積1125m2，凈化級別除黃光室為千級外，其余均為萬級。
1.2 系統存在的主要問題
(1)廠房內只對千級間黃光室設圍護結構，其余房間均為敞開式，凈化區域與非凈化區混合在一起，系統較為混亂，難以控制和調節，凈化區域的潔凈度不能達到要求；
(2)非凈化區域的擴散爐，經測定表面溫度可達50℃，散熱量非常大，在原有設計中存在空調送風量不足問題，造成擴散爐周圍區域的溫度高達37℃，并且回風循環使用，不利于節能；
(3)酸洗槽的排風量不足，平均斷面風速為0.1m/s，酸性物質存留在室內環境中，不能有效地排出，嚴重影響室內的衛生和生產環境；
(4)在廠房潔凈區入口處的風淋室風速為12m/s的要求，需要更換循環風機。
2改造方案
針對系統運行中出現的的以上情況，經與甲方協商，提出了改造方案。
2.1工藝布置改造方案
2.2凈化空調系統改造方案
3改造后的使用效果
系統改造后經高度確保每個房間的風量、正壓達到設計要求，在動態下檢測，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項指標均達到設計要求。
4結論
本工程改造前主要特點表現在系統工藝布置不合理(未對凈化區及非凈化區時行明確劃分)、混用凈化及非凈化區空調系統，不符合“規范”的要求；酸洗槽排風量不足；護散爐區因送風少及未設局排設施導致環境溫度超標；改造后將生產工藝布局做了適當調整，按照規范的要求，對凈化區及非凈化區單獨設置空調系統；加大酸洗槽排風量，同時采用了熱排風回收裝置，對補充新風進行預熱（預冷），節約能源，降低運行費用。建議在今后的空調工程設計中，對于生產環境有要求的工藝，既應該按照生產過程布置工藝，同時還要考慮到有利于空調凈化系統的調節和控制，保證生產環境的可靠性。
資訊來源：中國凈化工程網 |
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